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上方•首台8.6代新型显示PVD装备顺利发货

发表时间:2019-05-08 09:56

201957日,上方电子装备首台8.6新型显示PVD装备顺利完成发货。

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上方自主设计并开发的8.6Array PVD装备,最大玻璃基板尺寸为2250mm×2600mm采用旋转阴极镀膜技术实现薄膜沉积厚度非均匀性<5%,靶材利用率>80%。装备已获得国内技术专利11项,具有生产工艺先进、性能稳定、操作简单、维护保养成本低等优点。该装备的研发,得到了国家发改委和工信部的装备国产化项目立项支持。

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中国已成为全球显示装备的最大市场,加强磁控溅射PVD等关键工艺装备的国产化配套,是我国显示产业提升竞争力的关键。

上方8.6代PVD装备的交付,将进一步推动装备国产化的进程,有助于全方位提升我国新型显示产业竞争力!

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浙江上方电子装备有限公司
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