旋转阴极
旋转阴极

用途:

1、适用于大面积磁控镀膜设备配套件

2、平面阴极升级改造

设备规格:

型号
SF-125CRC-125LSF-125RC-384LSF-125RC-117L

紧凑型内装端头普通外装端头特殊外装端头(磁棒带扫描)
描述端头紧凑型真空内装设计,可最大化提高基板镀膜均匀区,广泛用于平面阴极改造、PVD设备配套件端头普通真空外装设计,方便安装维护,最大化基板宽幅,广泛用于单腔体镀膜、卷绕镀设备配套件端头真空外装设计,磁场独立马达控制扫描动作,专用于应对静态镀膜系统,广泛用于平板显示行业

设备优势:

1.适用于ITO、SI、Mo、AZO、i-ZnO、W、Al等各种靶材镀膜
2.靶材利用率≥75%
3.
镀膜均匀性≤±5%
4.
维护周期>6个月
5.特殊的外形尺寸设计:适合各种工况的使用,紧凑型的可最大化镀膜均匀区
6.优化创新的磁场设计:靶表磁500-1000GS手动可调,均匀性≤±5%
7.
独特的水路水冷设计:排水可完全排空
8.驱动系统集中在端头侧,另一端为支撑侧,便于安装维护
9.实时的故障保护系统


浙江上方电子装备有限公司
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