磁控溅射镀膜设备
CIGS薄膜电池连续式磁控镀膜系统

用途:适用于CIGS薄膜电池的金属层电极制造

基材:玻璃

设备优势:

1.模块化设计,可根据客户需求进行配置

2.配置旋转磁控阴极,大幅提高设备稼动率;上下式阴极设计,同时完成硅片正反面的镀膜

3.配置在线式吊车,高效更换靶材,减少PM停机时间

4.完善的工艺气体软隔离设计,确保气隔离系数≥100:1,同时保证产线节拍

5.可靠的软件控制系统,配备MES功能可与工厂制造系统完美对接

6.机构简单可靠,确保设备稳定性与一致性


HIT薄膜电池连续式磁控镀膜系统

用途:适用于HIT薄膜电池的透明导电层制造

基材:硅片

设备优势:

1.模块化设计,可根据客户需求进行配置

2.配置旋转磁控阴极,大幅提高设备稼动率;上下式阴极设计,同时完成硅片正反面的镀膜

3.配置在线式吊车,高效更换靶材,减少PM停机时间

4.完善的工艺气体软隔离设计,确保气隔离系数≥100:1,同时保证产线节拍

5.可靠的软件控制系统,配备MES功能可与工厂制造系统完美对接

6.机构简单可靠,确保设备稳定性与一致性



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