蒸发镀膜技术

电阻式加热蒸发

采用高熔点金属如钨、钽、钼等制作蒸发容器,可蒸发材料氧化硅SiO2、铝AI、锡Sn、铜Cu、铬Cr等,广泛应用于玻璃镀膜,装饰品、车灯、服装等领域。

电子束加热蒸发

利用偏转电子束集中轰击膜料进行加热并蒸发材料。优点是直接对蒸发材料进行加热,避免材料容器放气对膜层产生污染。可蒸发高熔点材料如钨W、钼Mo和钽Ta及氧化物陶瓷材料,广泛应用在光学镀膜、半导体行业等。


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